講演情報
[20a-P01-7]アモルファス窒化炭素薄膜における膜厚方向の化学結合状態均一性が光誘起変形に及ぼす影響
〇青野 祐美1、島 宏美2、小松 啓志3、佐藤 庸平4、寺内 正己4 (1.鹿大院理工、2.防衛大、3.長岡技科大、4.東北大多元研)
キーワード：
アモルファス窒化炭素,薄膜,化学結合状態
スパッタ法で作製されたアモルファス窒化炭素薄膜の膜厚方向の化学結合状態、密度の均一性について、軟X線発光分光法、X線光電子分光法、X線反射率法、分光エリプソメトリーを用いて調べ、光誘起変形との関連を調べた。