[20a-P01-1~14] 6.2 Carbon-based thin films

[20a-P01-9] Joining amorphous carbon films by pulsed laser irradiation

〇Karyu Hase¹, Dai Harada¹, Yuko Aono¹, Yuki Hirata¹, Naoto Ohtake¹, Hiroki Akasaka¹ (1.Tokyo Inst. Tech)

Keywords:

Amorphous Carbon Films,Joining,Laser Irradiation

レーザー照射により2つのアモルファス炭素膜の接合を試みた．アモルファス炭素膜同士が接触するように試料を重ね合わせ，レーザをガラス基板側から200 μmの照射間隔で照射した．ガラス基板側のアモルファス炭素膜は凹形状を呈し，Si基板側の膜は凸型形状を呈した．アモルファス炭素膜がレーザー照射により，Si上の膜と接合され，転写された事が示された.