講演情報
[20a-P01-9]パルスレーザー照射によるアモルファス炭素膜の接合
〇長谷 嘉琉1、原田 大1、青野 祐子1、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東工大)
キーワード：
アモルファス炭素,接合,レーザー照射
レーザー照射により2つのアモルファス炭素膜の接合を試みた．アモルファス炭素膜同士が接触するように試料を重ね合わせ，レーザをガラス基板側から200 μmの照射間隔で照射した．ガラス基板側のアモルファス炭素膜は凹形状を呈し，Si基板側の膜は凸型形状を呈した．アモルファス炭素膜がレーザー照射により，Si上の膜と接合され，転写された事が示された.