[20a-P03-1~21] 11 Superconductivity (Poster)

[20a-P03-15] Fabrication process for two-step MKIDs using niobium nitride films

〇Hatuki Koyama¹, Shunya Suzuki¹, Akira Kawakami², Yuya Suga¹, Kazushi Kiyooka¹, Kensuke Nakajima¹, Yuzuru Narita¹, Takao Oto¹, Atsushi Saito¹ (1.Yamagata Univ., 2.NICT)

Keywords:

Superconductor,MKID,NbN

我々は MKIDs の産業界への普及を念頭に置き、4 K冷凍機動作かつ広帯域特性をもつ NbN 製 spiral-MKIDs を提案している。Spiral-MKIDs は共振器と CPW で構成されており、それぞれで最適な膜厚が異なると考えられる。しかし、二段構造の作製にはエッチング工程を2回必要とし、1回目のエッチングが NbN の膜質の劣化の原因となる。そのため本研究では、エッチングの影響を受けない作製プロセスを調査している。