講演情報
[20a-P03-15]窒化ニオブ膜を用いた two-step MKIDs の作製プロセス
〇小山 八起1、鈴木 俊哉1、川上 彰2、須賀 祐哉1、清岡 和史1、中島 健介1、成田 克1、大音 隆男1、齊藤 敦1 (1.山形大工、2.情報通信研究機構)
キーワード：
超伝導,マイクロ波力学インダクタンス検出器,窒化ニオブ
我々は MKIDs の産業界への普及を念頭に置き、4 K冷凍機動作かつ広帯域特性をもつ NbN 製 spiral-MKIDs を提案している。Spiral-MKIDs は共振器と CPW で構成されており、それぞれで最適な膜厚が異なると考えられる。しかし、二段構造の作製にはエッチング工程を2回必要とし、1回目のエッチングが NbN の膜質の劣化の原因となる。そのため本研究では、エッチングの影響を受けない作製プロセスを調査している。