[20p-A303-1~9] Accelerating Semiconductor Manufacturing by Cyber-Physical Systems with AI and Optimization Computing

4:40 PM - 5:20 PM JST(7:40 AM - 8:20 AM UTC)

[20p-A303-6] Standardization of output data format for measurement/analysis instruments

〇Shingo Ichimura¹ (1.Waseda Univ. Advisor)

Keywords:

Materials informatics,Standard data format

ものづくり分野でのMI（Materials Informatics）推進には、様々な性能・特徴を持つ計測分析装置を駆使して取得した計測分析データを活用することが不可欠になっている。講演者らは、CPS（Cyber-Physical System）型複合計測分析を提唱し、計測分析装置の出力データ形式MaiMLの標準化を推進してきた。その概要、特徴を紹介する。