[20p-A310-1~12] CS.1 Code-sharing Session of 2.3 & 7.4

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)

[20p-A310-1] [Young Scientist Presentation Award Speech] Mechanism of Au nanowire formation by thermal evaporation of Au on a Si substrate irradiated with low-energy ions

〇Hitomi Mizutani¹, Shunya Yamamoto², Katsumi Takahiro¹ (1.Kyoto Inst. Tech., 2.QST Takasaki)

Keywords:

nanowire,vapor-phase growth,ion beam

我々は、低速イオンを照射したSi基板へのAu真空蒸着による、単結晶Auナノワイヤの新規作製法を見出した。Auナノワイヤは照射領域内のSi酸化／非酸化境界領域のみに成長し、従来の気相成長法より低温でナノワイヤを作製できる。これまでに我々は、Au原子の表面拡散によるナノワイヤ成長モデルを構築した。本講演では、Au核生成からナノワイヤ形成初期過程までを検討した結果を新たに加え、Au ナノワイヤ形成機構について説明する。