[20p-A310-1~12] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

13:30 〜 13:45

[20p-A310-1] [講演奨励賞受賞記念講演] イオン照射Si基板上へのAu蒸着によるAuナノワイヤ形成機構

〇水谷 仁美¹、山本 春也²、高廣 克己¹ (1.京工繊大、2.量研高崎)

キーワード：

ナノワイヤ,気相成長,イオンビーム

我々は、低速イオンを照射したSi基板へのAu真空蒸着による、単結晶Auナノワイヤの新規作製法を見出した。Auナノワイヤは照射領域内のSi酸化／非酸化境界領域のみに成長し、従来の気相成長法より低温でナノワイヤを作製できる。これまでに我々は、Au原子の表面拡散によるナノワイヤ成長モデルを構築した。本講演では、Au核生成からナノワイヤ形成初期過程までを検討した結果を新たに加え、Au ナノワイヤ形成機構について説明する。