[20p-B202-1~16] 11.1 Fundamental properties

5:30 PM - 5:45 PM JST(8:30 AM - 8:45 AM UTC)

[20p-B202-15] Nanowires fabrication of NdFeAsO-based thin films

〇Atsuro Yoshikawa¹, Hiroto Hibino¹, Shunya Tomioka¹, Takafumi Hatano¹, Hiroshi Ikuta¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:

superconductor,Microfabrication

超伝導単一光子検出器は優れた性能を示すため、量子情報通信など幅広い分野で適用が期待されている。そのため、高温超伝導体を用いた検出器を実現して動作温度を向上させることは重要である。我々は前回、40 K以上のT_cを有するNdFeAs(O,H)薄膜について、高い超伝導特性を維持したまま線幅0.88 μmに加工できると報告した。今回は、デバイス応用に要求される線幅100 nmまでの極細線化に向けて、電子線リソグラフィを用いたプロセスに取り組んだので、その結果を報告する。