講演情報
[20p-B202-15]NdFeAsO系薄膜を用いたナノワイヤーの作製
〇吉川 淳朗1、日比野 絢斗1、冨岡 隼也1、畑野 敬史1、生田 博志1 (1.名大工)
キーワード：
超伝導,微細加工
超伝導単一光子検出器は優れた性能を示すため、量子情報通信など幅広い分野で適用が期待されている。そのため、高温超伝導体を用いた検出器を実現して動作温度を向上させることは重要である。我々は前回、40 K以上のTcを有するNdFeAs(O,H)薄膜について、高い超伝導特性を維持したまま線幅0.88 μmに加工できると報告した。今回は、デバイス応用に要求される線幅100 nmまでの極細線化に向けて、電子線リソグラフィを用いたプロセスに取り組んだので、その結果を報告する。