[20p-C301-1~13] 11.2 Thin and thick superconducting films, coated conductors and film crystal growth

4:00 PM - 4:15 PM JST(7:00 AM - 7:15 AM UTC)

[20p-C301-11] Evaluation of Epitaxial NbTaN Films with TiN Buffer by IBS Deposition

〇Kazumasa Makise^1,2,3, Hirotake Yamamori³, Fusao Ichikawa⁴, Takafumi Kojima^1,2, Yoshinori Uzawa^1,2 (1.NAOJ, 2.SOKENDAI, 3.AIST, 4.Kumamoto Univ.)

Keywords:

Superconductor,thin film

ALMA2プロジェクトにおいてSISミキサの高性能化を進めている。バンド10ミキサはNbTiN膜上にNb接合形成し、Alで配線されている。高周波特性の向上のためにはωCR積を小さくする必要があり、現行の10kA/cm²より2倍以上の臨界電流密度（J_C）かつリークの少ない高品質な接合の実現を目指している。そこで今回我々はNbTaN膜の可能性について調査した。