Presentation Information
[20p-C301-6]Sputter deposition of LaNiO3 thin films in reducing atmosphere for buffer layer of REBCO-CC
〇Shuhei Funaki1, Daisuke Tsuji1, Yasuji Yamada1, Toshiya Doi2 (1.Shimane Univ., 2.Kyoto Univ.)
Keywords:
conductive buffer layer,LaNiO3,REBCO-CC
本研究では，導電性中間層の候補材料であるLaNiO3のスパッタ成膜における雰囲気にAr+H2混合ガスを用い，還元雰囲気で成膜した試料及び，その後にREBCO形成環境でアニールした試料について，結晶性及び電気特性を評価した．還元雰囲気下で成膜したLaNiO3のas-grown膜は半導体的な挙動を示したが，アニール後には金属的な挙動となり，77 Kにおける抵抗率は8×10–4 Ω cmまで低下した．