講演情報
[20p-C301-6]REBCO-CCの中間層に向けたLaNiO3薄膜の還元雰囲気スパッタ成膜
〇舩木 修平1、辻 大佑1、山田 容士1、土井 俊哉2 (1.島根大自然、2.京大院エネ科)
キーワード:
導電性中間層,LaNiO3,REBCO-CC
本研究では,導電性中間層の候補材料であるLaNiO3のスパッタ成膜における雰囲気にAr+H2混合ガスを用い,還元雰囲気で成膜した試料及び,その後にREBCO形成環境でアニールした試料について,結晶性及び電気特性を評価した.還元雰囲気下で成膜したLaNiO3のas-grown膜は半導体的な挙動を示したが,アニール後には金属的な挙動となり,77 Kにおける抵抗率は8×10–4 Ω cmまで低下した.