Presentation Information
[20p-C601-14]Fully automated high-speed analysis of spectroscopic ellipsometry by deep learning: application of large-scale spectral data
〇Ryosuke Oka1, Masahiro Hayashi1, Hiroyuki Fujiwara1 (1.Gifu Univ.)
Keywords:
measurement informatics,deep learning,spectroscopic ellipsometry
分光エリプソメトリーは材料光物性の高精度評価法であるが、未知材料の解析では解析者に知識や経験が必要となる欠点がある。そこで近年、深層学習によるエリプソメトリー解析が注目されている。この新手法では従来の解析の自動化と高速化を実現できるが、複雑なスペクトル形状を表現できない問題があった。本研究では大規模な仮想スペクトルデータを学習させることにより、より多様なスペクトルを評価することを試みた。