講演情報
[20p-C601-14]深層学習による分光エリプソメトリー完全自動高速解析：大規模スペクトルデータの適用
〇岡 亮輔1、林 真弘1、藤原 裕之1 (1.岐阜大)
キーワード：
計測インフォマティクス,深層学習,分光エリプソメトリー
分光エリプソメトリーは材料光物性の高精度評価法であるが、未知材料の解析では解析者に知識や経験が必要となる欠点がある。そこで近年、深層学習によるエリプソメトリー解析が注目されている。この新手法では従来の解析の自動化と高速化を実現できるが、複雑なスペクトル形状を表現できない問題があった。本研究では大規模な仮想スペクトルデータを学習させることにより、より多様なスペクトルを評価することを試みた。