Presentation Information
[20p-P07-49]High-overtone mode solid mounted resonators operating at 5 GHz with polarity inverted SiAlN/AlN films
〇Masashi Suzuki1, Jun Sekimoto1, Kei Fukunaga1, Shoji Kakio1 (1.Univ. Yamanashi)
Keywords:
AlN film,Polarization inversion,Film resonator
SMR型共振子は機械的強度，耐電力性に優れるが，FBAR型よりkeff2，Q値が小さくなる。分極反転多層膜を用いた高次モード薄膜共振子では圧電層の音響インピーダンスが疑似的に増加するため，SMRでのkeff2，Q値の改善が期待できる。本研究では分極反転SiAlN/AlN多層膜を用いた高次モードSMR型共振子の形成，評価を行った。2層および4層分極反転SiAlN/AlN膜SMRは5GHz付近でそれぞれ2次モード，4次モードで共振し，分極反転層数が増えるにつれてQ値が大きくなった。