[21a-A307-1~10] 6.3 Oxide electronics

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[21a-A307-7] Evaluation of channel conductivity modulation by cation adsorption in titanium oxide thin film transistors

〇Ryo Miyazawa¹, Haruto Suzuki¹, Hibiki Takeda¹, Masanori Miura¹, Fumihiko Hirose¹ (1.Yamagata Univ.)

Keywords:

thin film transistor,aluminum-silicate,atomic layer deposition

本研究では、15 nmほどの非常に薄い酸化チタンチャネルを用いて、極めて表面敏感な薄膜トランジスタを作製し、イオンセンサーとしての応用を検討した。カチオン吸着特性のあるアルミニウムシリケートを酸化チタンチャネル上に形成し、イオンセンサーとしての機能を付与した。I-V特性を取得したところ、カチオン吸着前後で大幅に出力電流が上昇することが分かったため、カチオン吸着によるチャネル伝導度変調について報告する。