講演情報
[21a-A307-7]カチオン吸着酸化チタン薄膜トランジスタのチャネル伝導度変調
〇宮澤 諒1、鈴木 晴登1、竹田 響綺1、三浦 正範1、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工)
キーワード：
薄膜トランジスタ,アルミニウムシリケート,原子層堆積法
本研究では、15 nmほどの非常に薄い酸化チタンチャネルを用いて、極めて表面敏感な薄膜トランジスタを作製し、イオンセンサーとしての応用を検討した。カチオン吸着特性のあるアルミニウムシリケートを酸化チタンチャネル上に形成し、イオンセンサーとしての機能を付与した。I-V特性を取得したところ、カチオン吸着前後で大幅に出力電流が上昇することが分かったため、カチオン吸着によるチャネル伝導度変調について報告する。