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[21a-A309-8]Study on Highly Efficient Silicon Optical Sensor Using Nanodiamond-based Near-Field Light Source

〇Katsuya Shimizu1, Akira Uchino1, Takeshi Hizawa1, Ryota Katsumi1, Hiroyasu Fujiwara2, Kenji Iida3, Takashi Yatsui1 (1.TUT, 2.Central Research Laboratory, Hamamatsu Photonics K.K, 3.Hokkaido Univ.)

Keywords:

Silicon photonics,nanophotonics,Photosensor

シリコン(Si)は入手性や結晶性の高さ、発達した半導体加工技術から、幅広い受光デバイスに使用されるが、励起にフォノンが必要な間接遷移半導体であり、バンドギャップ付近の波長(1100nm)の光検出の効率が悪いという問題がある。本研究は、近接場光による波数励起でシリコン光センサの受光感度が増加していることを確認するため、ナノダイヤモンドを用いたセンサを作製し、受光感度の向上を確認したので報告する。