[21a-A309-1~9] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学（旧3.12）

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[21a-A309-8] ナノダイヤモンド近接場光源を用いたSi光センサの高効率化に向けた研究

〇清水 克哉¹、内野 晟¹、飛沢 健¹、勝見 亮太¹、藤原 弘康²、飯田 健二³、八井 崇¹ (1.豊橋技科大、2.浜松ホトニクス中央研究所、3.北海道大)

キーワード：

シリコンフォトニクス,ナノフォトニクス,受光センサ

シリコン(Si)は入手性や結晶性の高さ、発達した半導体加工技術から、幅広い受光デバイスに使用されるが、励起にフォノンが必要な間接遷移半導体であり、バンドギャップ付近の波長(1100nm)の光検出の効率が悪いという問題がある。本研究は、近接場光による波数励起でシリコン光センサの受光感度が増加していることを確認するため、ナノダイヤモンドを用いたセンサを作製し、受光感度の向上を確認したので報告する。