Presentation Information
[21a-D902-5]Developing the flexible microfluidic device with low-temperature direct parylene bonding
〇Masahito Takakuwa1,2, Daishi Inoue2, Tomoyuki Yokota1, Kenjiro Fukuda2, Yuya Morimoto3, Takao Someya1,2 (1.University of Tokyo, 2.RIKEN, 3.Waseda Univ.)
Keywords:
microfluidics device,Parylene bonding
ポリジメチルシロキサン（PDMS）は、透明性・柔軟性・生体適合性に優れた材料として、マイクロ流路デバイスの材料に使用される。PDMSは、接着剤やプラズマ接合を用いて簡便にマイクロ流路を作製できる一方で、有機溶媒による膨潤や低分子材料やたんぱく質の吸着現象などの課題があった。そこで本研究では、不活性ポリマーで化学気相蒸着（CVD）可能なパリレンの100度未満の低温直接接合法を開発した。そして、パリレンを均一に成膜したPDMS表面同士を直接接合しマイクロ流路デバイスを作製した。流路の外壁はパリレンでコーティングされているため、Rhodaminを流路内に導入してもデバイスへの吸収は確認されなかったため、報告する。