Presentation Information
[21a-D903-7]Formation of perovskite films on textured Si surfaces formed by MPAT
〇Pengyu Yang1, Peng Liu2, Thi Cam Tu Huynh1, Md. Shahiduzzaman2, Tetsuya Taima2, Keisuke Ohdaira1 (1.JAIST, 2.Kanazawa Univ.)
Keywords:
pyramidal texture,etching,perovskite
ガラスビーズを用いたmicroparticle-assisted texturing（MPAT）におけるアルカリ溶液の回転速度の影響とペロブスカイトの塗布状況を調査した。回転速度250 rpmでのMPATによって形成されたテクスチャでは粗大なピラミッドが多く形成され、頂点が覆われていない箇所も多かった。一方、回転数1000 rpmで形成したテクスチャでは、微小ピラミッドが支配的な表面が形成され、製膜されていない箇所も減少した。