講演情報
[21a-D903-7]MPATによりSiウェハ表面に形成したテクスチャへのペロブスカイト成膜
〇Yang Pengyu1、Liu Peng2、Huynh Thi Cam Tu1、Md. Shahiduzzaman2、當摩 哲也2、大平 圭介1 (1.北陸先端大、2.金沢大)
キーワード：
ピラミッドテクスチャ,エッチング,ペロブスカイト
ガラスビーズを用いたmicroparticle-assisted texturing（MPAT）におけるアルカリ溶液の回転速度の影響とペロブスカイトの塗布状況を調査した。回転速度250 rpmでのMPATによって形成されたテクスチャでは粗大なピラミッドが多く形成され、頂点が覆われていない箇所も多かった。一方、回転数1000 rpmで形成したテクスチャでは、微小ピラミッドが支配的な表面が形成され、製膜されていない箇所も減少した。