Presentation Information
[21p-A304-2]High-resolution visualization of interfacial dynamics in multi-layer stacked thin films through automated forward-inverse analysis of multi-dimensional XPS Big data
〇Satoshi Toyoda1, Masatake Machida1 (1.Scienta Omicron)
Keywords:
X-ray photoelectron spectroscopy,semiconductor surface and interface
我々は、X線光電子分光技術により多層薄膜界面動態の可視化を試みており、これにはスペクトルビッグデータの自動解析が必要となります。メモリ負荷を大幅に削減するアルゴリズムを開発してビッグデータ処理を可能とし、さらに、GPGPUを用いた非線形最小二乗法の改良により、ビッグデータの高速処理を実現しました。これらにより、100億本のスペクトルデータでも一日で処理ができ、薄膜界面の高解像度視覚化が可能になりました。