講演情報
[21p-A304-2]多次元XPSビッグデータに基づく自動化された順逆解析による多層積層薄膜界面動態の高解像度可視化
〇豊田 智史1、町田 雅武1 (1.シエンタオミクロン)
キーワード：
X線光電子分光,半導体表面界面
我々は、X線光電子分光技術により多層薄膜界面動態の可視化を試みており、これにはスペクトルビッグデータの自動解析が必要となります。メモリ負荷を大幅に削減するアルゴリズムを開発してビッグデータ処理を可能とし、さらに、GPGPUを用いた非線形最小二乗法の改良により、ビッグデータの高速処理を実現しました。これらにより、100億本のスペクトルデータでも一日で処理ができ、薄膜界面の高解像度視覚化が可能になりました。