[21p-A307-1~23] 6.3 Oxide electronics

5:15 PM - 5:30 PM JST(8:15 AM - 8:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[21p-A307-17] Topotaxial phase transition of CoO films by UV-photoexcited oxygen without heating

〇(DC)Kenta Kaneko¹, Yuchi Qiao¹, Satoru Kaneko^2,1, Mamoru Yoshimoto¹, Akifumi Matsuda¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:

Cobalt oxide,Vacuum Ultraviolet Light,epitaxial thin films

Xe₂^＊エキシマランプを光源とした真空紫外（VUV）光によって雰囲気酸素を励起し、生成したオゾンや原子状酸素など酸素活性種がCoOエピタキシャル薄膜の構造・物性に与える影響について検討した。薄膜は、CoOターゲットを用いたPLD法によって、原子ステップα-Al₂O₃(0001)基板上に堆積した。得られた薄膜に対してVUV光照射を大気中で行い、エピタキシャル構造を引き継いだトポタクティックな結晶相変化、および相変化に伴う物性変化を確認した。講演では、詳細な構造解析、物性評価について報告する。