[21p-A307-1~23] 6.3 酸化物エレクトロニクス

17:15 〜 17:30奨励賞エントリー

[21p-A307-17] 真空紫外光励起酸素によるCoO薄膜の非加熱トポタキシャル相変化

〇(DC)金子 健太¹、喬 宇馳¹、金子 智^2,1、吉本 護¹、松田 晃史¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川産技総研)

キーワード：

酸化コバルト,真空紫外光,エピタキシャル薄膜

Xe₂^＊エキシマランプを光源とした真空紫外（VUV）光によって雰囲気酸素を励起し、生成したオゾンや原子状酸素など酸素活性種がCoOエピタキシャル薄膜の構造・物性に与える影響について検討した。薄膜は、CoOターゲットを用いたPLD法によって、原子ステップα-Al₂O₃(0001)基板上に堆積した。得られた薄膜に対してVUV光照射を大気中で行い、エピタキシャル構造を引き継いだトポタクティックな結晶相変化、および相変化に伴う物性変化を確認した。講演では、詳細な構造解析、物性評価について報告する。