[21p-A308-1~12] 3.10 Photonic structures and phenomena (formerly 3.11)

1:15 PM - 1:30 PM JST(4:15 AM - 4:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[21p-A308-1] Mode analysis of GaN two-dimensional photonic crystal cavities
undercut by photo-electrochemical etching

〇(M1)Masato Yoshida¹, Syo Sosumi¹, Kazuo Uchida¹, Takeyoshi Tajiri¹ (1.UEC)

Keywords:

photonic crystal cavity,Gallium Nitride

本研究は、GaN二次元フォトニック結晶（2D-PhC）共振器のモード分析を行った。中空スラブのGaN 2D-PhC共振器は高効率可視レーザ光源などへの応用が期待されている。特に、中空構造の作製法では光電気化学エッチングが知られているが、高次モードでQ~800が報告されるにとどまっている。そこでレーザ援用光電気化学エッチングによりL7型GaN 2D-PhC共振器を作製し、光学評価を行った。その結果、基底モードを特定し、これまでより高いQ~3400を観測した。