講演情報
[21p-A308-1]光電気化学エッチングによりアンダーカットされた
窒化ガリウム二次元フォトニック結晶共振器のモード分析
〇(M1)吉田 理人1、惣角 翔1、内田 和男1、田尻 武義1 (1.電通大)
キーワード：
フォトニック結晶共振器,窒化ガリウム
本研究は、GaN二次元フォトニック結晶（2D-PhC）共振器のモード分析を行った。中空スラブのGaN 2D-PhC共振器は高効率可視レーザ光源などへの応用が期待されている。特に、中空構造の作製法では光電気化学エッチングが知られているが、高次モードでQ~800が報告されるにとどまっている。そこでレーザ援用光電気化学エッチングによりL7型GaN 2D-PhC共振器を作製し、光学評価を行った。その結果、基底モードを特定し、これまでより高いQ~3400を観測した。