[21p-A308-1~12] 3.10 Photonic structures and phenomena (formerly 3.11)

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[21p-A308-5] Fabrication of Air-Bridge Diamond Photonic Crystal Nanobeam Cavity Structures (2)

〇Satomi Ishida¹, Hidetsugu Matsukiyo², S. Ji¹, Hideo Otsuki¹, Masao Nishioka², Toshiharu Makino³, Hiromitsu Kato³, Satoshi Iwamoto^1,2 (1.RCAST U-Tokyo, 2.IIS U-Tokyo, 3.AIST)

Keywords:

Diamond,Photonic Crystal Nanobeam Cavity,Air-Bridge

ダイヤモンドのICP等方性ドライエッチングの条件を制御することにより、厚さの異なるエアブリッジ型PhCナノビーム共振器構造の作製に成功したので報告する。