講演情報
[21p-A308-5]エアブリッジ型ダイヤモンドフォトニック結晶ナノビーム共振器構造の作製（２）
〇石田 悟己1、松清 秀次2、池 尙玟1、大槻 秀夫1、西岡 政雄2、牧野 敏晴3、加藤 宙光3、岩本 敏1,2 (1.東大先端研、2.東大生産研、3.産総研)
キーワード：
ダイヤモンド,フォトニック結晶ナノビーム共振器,エアブリッジ
ダイヤモンドのICP等方性ドライエッチングの条件を制御することにより、厚さの異なるエアブリッジ型PhCナノビーム共振器構造の作製に成功したので報告する。