[21p-B204-1~19] 11.4 Analog applications and their related technologies

4:00 PM - 4:15 PM JST(7:00 AM - 7:15 AM UTC)

[21p-B204-10] Evaluation of noise reduction for STJ detectors with SiO₂/SiN/SiO₂ Membranes

〇Tsuyoshi Noguchi¹, Taiga Shibasaki¹, Go Fujii², Shigetomo Shiki², Takahiro Kikuchi², Tohru Taino¹ (1.Saitama univ., 2.AIST)

Keywords:

Superconducting Tunnel Junction Detectors,STJ Detectors,X ray Detertor

超伝導トンネル接合(STJ)検出器は通常Si基板上に作製され、検出器厚は数100 nmと非常に薄い。そのため、入射したX線の一部はSTJを透過してSi基板にて吸収され、フォノンノイズとして低エネルギー領域での分析を困難にしている。そこで、Si基板を除去した構造を実現させるため、SiO2/SiN/SiO2の自立メンブレン上に形成されるSTJ検出器の開発を行い、ノイズの低減効果を検証した。