講演情報
[21p-B204-10]SiO2/SiN/SiO2メンブレンを用いたSTJ検出器のノイズ低減評価
〇野口 剛志1、柴﨑 大我1、藤井 剛2、志岐 成友2、菊地 貴大2、田井野 徹1 (1.埼玉大理工、2.産総研)
キーワード：
超伝導トンネル接合検出器,STJ検出器,X線検出器
超伝導トンネル接合(STJ)検出器は通常Si基板上に作製され、検出器厚は数100 nmと非常に薄い。そのため、入射したX線の一部はSTJを透過してSi基板にて吸収され、フォノンノイズとして低エネルギー領域での分析を困難にしている。そこで、Si基板を除去した構造を実現させるため、SiO2/SiN/SiO2の自立メンブレン上に形成されるSTJ検出器の開発を行い、ノイズの低減効果を検証した。