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6:45 PM - 7:00 PM JST(9:45 AM - 10:00 AM UTC)

[21p-B204-19]Characterization of TiN Films on MgO Substrate for Superconducting Single-Photon Detectors

〇Tsubasa Ishimura¹, Hiroki Kutsuma¹, Taro Yamashita¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:

superconductor,superconducting nanowire single-photon detector

近年，高検出効率，低暗計数等の特長により，超伝導単一光子検出器が注目されている．そこで，薄膜の結晶性と検出器性能との相関解明を目的として，MgO(100)基板と格子整合性の良いTiN薄膜に注目した．本研究では，先行研究と比べて格子定数がよりMgOに近いTiN膜が得られた．また，膜厚8 nmのTiN膜のT_cとして3.4 Kが得られ，2.5 Kまで冷却可能な小型冷凍機での使用が可能であることがわかった．

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