講演情報
[21p-B204-19]超伝導単一光子検出器に向けたMgO基板上TiN膜の特性評価
〇石村 飛翔1、沓間 弘樹1、山下 太郎1 (1.東北大院工)
キーワード：
超伝導,SNSPD
近年，高検出効率，低暗計数等の特長により，超伝導単一光子検出器が注目されている．そこで，薄膜の結晶性と検出器性能との相関解明を目的として，MgO(100)基板と格子整合性の良いTiN薄膜に注目した．本研究では，先行研究と比べて格子定数がよりMgOに近いTiN膜が得られた．また，膜厚8 nmのTiN膜のTcとして3.4 Kが得られ，2.5 Kまで冷却可能な小型冷凍機での使用が可能であることがわかった．