Presentation Information
[21p-P01-9]Evaluation of three dimensional plasma structure
from multi-directoional emission images
〇Kenta Harada1, Kyuzo Manabu1, Haruka Suzuki1,2, Hirotaka Toyoda1,2,3 (1.Nagooya Univ., 2.cLPS, Nagoya Univ., 3.NIFS)
Keywords:
Plasma,Tomography
現在の半導体製造装置に用いられる容量結合型プラズマ装置においては、様々な要因によって不均一性が発生することがある。不均一性評価において計測は必須であるが、プラズマに擾乱を引き起こす計測は行うことができない。そこで我々は、トモグラフィ技術を用いてプロセスプラズマの三次元構造イメージング計測の研究に着手した。今回は、3方向からのプラズマ撮影をもとに3次元構造解析を試みたので報告する。