講演情報
[21p-P01-9]複数視野像を用いたプラズマ3次元構造評価の試み
〇原田 健汰1、久蔵 学1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)
キーワード：
プラズマ,トモグラフィ技術
現在の半導体製造装置に用いられる容量結合型プラズマ装置においては、様々な要因によって不均一性が発生することがある。不均一性評価において計測は必須であるが、プラズマに擾乱を引き起こす計測は行うことができない。そこで我々は、トモグラフィ技術を用いてプロセスプラズマの三次元構造イメージング計測の研究に着手した。今回は、3方向からのプラズマ撮影をもとに3次元構造解析を試みたので報告する。