[22a-A311-1~9] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

9:00 AM - 9:15 AM JST(12:00 AM - 12:15 AM UTC)

[22a-A311-1] Effect of Humidity during Firing on Ozone Detection Sensitivity in Solution-processed IGZO-TFT

〇Hiroharu Sasajima¹, Morimoto Takaaki¹, Ishii Keisuke¹ (1.NDA)

Keywords:

IGZO,solution process,gas sensor

我々は、IGZO-TFTがオゾンセンサとして働き、その感度がOH基密度と正の相関を示すことを報告した。今回、OH基密度を可変させるために成膜時の湿度を変化させた結果、高湿度時にOH基密度は高くなる一方、感度は予想と逆に低くなった。高湿度成膜時に膜質と電気特性が悪化する傾向が、これまでも見られたことを考慮すると、OH基の増加による感度向上よりも、膜質悪化による減少効果の方が大きい可能性が考えられる。