[22a-A311-1~9] 9.1 誘電材料・誘電体

9:00 〜 9:15

[22a-A311-1] 溶液法 IGZO-TFT のオゾン検出感度に成膜時の湿度が及ぼす影響

〇笹島 宏青¹、森本 貴明¹、石井 啓介¹ (1.防衛大)

キーワード：

IGZO,溶液法,ガスセンサ

我々は、IGZO-TFTがオゾンセンサとして働き、その感度がOH基密度と正の相関を示すことを報告した。今回、OH基密度を可変させるために成膜時の湿度を変化させた結果、高湿度時にOH基密度は高くなる一方、感度は予想と逆に低くなった。高湿度成膜時に膜質と電気特性が悪化する傾向が、これまでも見られたことを考慮すると、OH基の増加による感度向上よりも、膜質悪化による減少効果の方が大きい可能性が考えられる。