[22a-P03-1~32] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

[22a-P03-12] Infrared absorption and voltage response of infrared sensors using ultrathin metal electrodes

〇Momoyo Oyama¹, Yasuko Koshiba^1,2, Shohei Horike^1,2, Kenji Ishida^1,2,3 (1.Kobe Univ., 2.Res. Ctr. Membrane & Film Tech, Kobe Univ., 3.Kyushu Univ.)

Keywords:

organic ferroelectric material,pyroelectric effect,infrared sensor

焦電型赤外線センサは、人感・ガス検知分野で重要なセンサである。従来、PZTがセンサ材料として多用されてきたが、近年、低環境負荷な有機強誘電体に注目が集まっている。本研究では、有機強誘電体P(VDF-TrFE)センサの感度向上を目指し、赤外線を吸収するNiCr電極の(1)極薄膜化ならびに(2)中間層への挿入の2パターンの素子を構築し、これらが実効吸収率ならびにセンサ感度に与える効果を検証したところ、NiCr 電極膜厚10 nmの素子において焦電応答は最大化した。