講演情報
[22a-P03-12]NiCr極薄電極を用いたP(VDF-TrFE)焦電型センサの赤外吸収および電圧応答特性
〇大山 百代1、小柴 康子1,2、堀家 匠平1,2、石田 謙司1,2,3 (1.神戸大院工、2.神戸大先端膜工学セ、3.九大院工)
キーワード：
有機強誘電体材料,焦電効果,赤外線センサ
焦電型赤外線センサは、人感・ガス検知分野で重要なセンサである。従来、PZTがセンサ材料として多用されてきたが、近年、低環境負荷な有機強誘電体に注目が集まっている。本研究では、有機強誘電体P(VDF-TrFE)センサの感度向上を目指し、赤外線を吸収するNiCr電極の(1)極薄膜化ならびに(2)中間層への挿入の2パターンの素子を構築し、これらが実効吸収率ならびにセンサ感度に与える効果を検証したところ、NiCr 電極膜厚10 nmの素子において焦電応答は最大化した。