[22p-A307-1~17] 6.6 Probe Microscopy

3:00 PM - 3:15 PM JST(6:00 AM - 6:15 AM UTC)

[22p-A307-9] Surface analysis of 2D materials by means of large field-of-view tip-enhanced Raman scattering microscopy

〇Ryo Kato^1,2, Toki Moriyama³, Takayuki Umakoshi^3,4, Prabhat Verma³, Taka-aki Yano^1,2, Takuo Tanaka^1,2 (1.Tokushima Univ., 2.RIKEN, 3.Osaka Univ., 4.Advanced Co-creation Studies)

Keywords:

TERS,2D nano materials,defect analysis

本研究では，チップ増強ラマン散乱（TERS）顕微鏡の長年の課題であった、顕微システムのドリフトをリアルタイムで高精度に補正する機構を新たに開発することで，広視野・長時間・超解像ラマンイメージングを実現した．開発した超解像ラマン顕微鏡を利用して，原子層物質の二硫化タングステン(WS₂)の広視野・超解像ラマンイメージングを実証し，電子デバイスと同規模の面積範囲内（4 µm²以上）に存在するナノ欠陥構造を同定し，その欠陥占有率の評価にも成功した．