講演情報
[22p-A307-9]広視野チップ増強ラマン散乱顕微鏡による2次元ナノ材料の表面構造解析
〇加藤 遼1,2、森山 季3、馬越 貴之3,4、バルマ プラブハット3、矢野 隆章1,2、田中 拓男1,2 (1.徳島大p-LED、2.理研、3.阪大工、4.阪大高等院)
キーワード：
チップ増強ラマン分光,2次元ナノ材料,欠陥解析
本研究では，チップ増強ラマン散乱（TERS）顕微鏡の長年の課題であった、顕微システムのドリフトをリアルタイムで高精度に補正する機構を新たに開発することで，広視野・長時間・超解像ラマンイメージングを実現した．開発した超解像ラマン顕微鏡を利用して，原子層物質の二硫化タングステン(WS2)の広視野・超解像ラマンイメージングを実証し，電子デバイスと同規模の面積範囲内（4 µm2以上）に存在するナノ欠陥構造を同定し，その欠陥占有率の評価にも成功した．