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4:15 PM - 4:45 PM JST(7:15 AM - 7:45 AM UTC)

[22p-A401-7]Monitoring technologies for semiconductor manufacturing process to reduce environmental impact

〇Masakazu Minami¹ (1.HORIBA STEC)

monitoring,semiconductor,environment

持続可能な社会を実現するためには、半導体デバイスの低消費電力化が大きく貢献する一方、半導体製造プロセスにおける環境負荷を低減することが重要な課題となっている。本講演では、デバイスの歩留まり向上に加えて、環境負荷低減にも貢献できる各種モニタリング技術とそれらの適応事例について紹介する。