[22p-A501-1~16] 6.5 Surface Physics, Vacuum

2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[22p-A501-6] Fabrication and characterization of black Au films deposited at different pressures

〇Kazuto Takada¹, Midori Kawamura¹, Takayuki Kiba¹, Yoshio Abe¹, Ueda Mikito², Premysl Fitl³ (1.Kitami Inst., 2.Hokkaido Univ., 3.UCT Prague)

Keywords:

Nano porous structure,Vacuum evaporation,Light absorption

ナノポーラス金属膜はその多孔質構造により、低反射率や広帯域での光吸収といった光学特性を有するため黒色を呈し、ブラックメタル（BM)とも呼ばれる。その多孔質構造はガスセンサのガス吸着層として、光吸収特性はIR検出層や太陽光利用などこれらの特性を活かした様々な用途が見出されている。前回、我々は低真空での真空蒸着法を用いたポーラスAg膜の作製を報告した。本研究では同プロセスを用いてポーラスAu膜を成膜圧力等の条件を変えて作製し、各種特性の調査を行った。