講演情報
[22p-A501-6]異なる圧力下で蒸着したポーラスAu膜の特性評価
〇高田 一翔1、川村 みどり1、木場 隆之1、阿部 良夫1、上田 幹人2、Premysl Fitl3 (1.北見工大、2.北大院工、3.プラハ化技大)
キーワード：
ナノポーラス構造,真空蒸着法,光吸収
ナノポーラス金属膜はその多孔質構造により、低反射率や広帯域での光吸収といった光学特性を有するため黒色を呈し、ブラックメタル（BM)とも呼ばれる。その多孔質構造はガスセンサのガス吸着層として、光吸収特性はIR検出層や太陽光利用などこれらの特性を活かした様々な用途が見出されている。前回、我々は低真空での真空蒸着法を用いたポーラスAg膜の作製を報告した。本研究では同プロセスを用いてポーラスAu膜を成膜圧力等の条件を変えて作製し、各種特性の調査を行った。