[22p-A501-1~16] 6.5 Surface Physics, Vacuum

2:45 PM - 3:00 PM JST(5:45 AM - 6:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[22p-A501-7] Preparation and Characterization of Porous Ag Thin Films by Low Temperature Sputtering

〇Hibiki Mori¹, Midori Kawamura¹, Takayuki Kiba¹, Yoshio Abe¹, Michal Novotny², Premysl Fitl², Matej Micusik³ (1.Kitami Inst. of Tech., 2.UCT Prague, 3.Slovak Academy of Sciences)

Keywords:

porous,silver,sputtering

ポーラス金属膜はその多孔質構造により低反射率で高吸収率という特徴を有し、様々な応用が期待されている。スパッタリング法による作製例には斜入射法¹⁾やアルゴン・窒素混合ガス中での成膜例²⁾などがある。本研究では液体窒素を用い、冷却基板上でのスパッタ粒子の表面拡散の抑制によりポーラスAg薄膜の作製を試みる。