講演情報
[22p-A501-7]低温スパッタによるポーラスAg薄膜の作製と特性評価
〇森 日々輝1、川村 みどり1、木場 隆之1、阿部 良夫1、Novotny Michal2、Fitl Premysl2、Micusik Matej3 (1.北見工大、2.プラハ化技大、3.スロバキア科学アカデミー)
キーワード：
ポーラス,銀,スパッタリング
ポーラス金属膜はその多孔質構造により低反射率で高吸収率という特徴を有し、様々な応用が期待されている。スパッタリング法による作製例には斜入射法1)やアルゴン・窒素混合ガス中での成膜例2)などがある。本研究では液体窒素を用い、冷却基板上でのスパッタ粒子の表面拡散の抑制によりポーラスAg薄膜の作製を試みる。