[22p-B202-1~16] 1.6 Ultrasonics

4:15 PM - 4:30 PM JST(7:15 AM - 7:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[22p-B202-11] Substrate Temperature Dependence of BAW Propagation Properties
on (K, Na)NbO₃ Films Deposited by RF Sputtering

〇Yuta Nakayama¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:

Surface Acoustic Wave,Bulk Acoustic Wave,Potassium Sodium Niobate

本報では，RFスパッタリングによりZnO密着層上に成膜した(K,Na)NbO₃(KNN)膜のBAW伝搬特性の成膜温度依存性を評価した。成膜温度460 ℃において6.0 %の電気機械結合係数(k_t²)を示し，440 ℃以下においてkt²の低減が確認された。また、580 ℃以上の試料では、変換損失における二次モードの方が一次モードよりも大きな応答であった。その要因を検討し、成膜温度の上昇に伴いKNN膜が多結晶化していることが変換損失に影響している可能性があることを示した。