講演情報
[22p-B202-11]RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW伝搬特性の
基板温度依存性
〇中山 雄太1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大)
キーワード：
弾性表面波,バルク弾性波,ニオブ酸カリウムナトリウム
本報では，RFスパッタリングによりZnO密着層上に成膜した(K,Na)NbO3(KNN)膜のBAW伝搬特性の成膜温度依存性を評価した。成膜温度460 ℃において6.0 %の電気機械結合係数(kt2)を示し，440 ℃以下においてkt2の低減が確認された。また、580 ℃以上の試料では、変換損失における二次モードの方が一次モードよりも大きな応答であった。その要因を検討し、成膜温度の上昇に伴いKNN膜が多結晶化していることが変換損失に影響している可能性があることを示した。